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衍射光柵（Diffractive Grating）設(shè)計(jì)與加工

衍射光柵是通過周期性結(jié)構(gòu)，對(duì)入射光的振幅或相位（或兩者同時(shí)）進(jìn)行周期性空間調(diào)制。衍射光柵不僅用于光譜學(xué)，還廣泛用于計(jì)量、光通訊、信息處理等領(lǐng)域。衍射光柵種類很多，常用的有閃耀光柵、全息光柵、矩形光柵等。

AR增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)眼鏡可以使用衍射光柵（又被稱為浮雕光柵）來實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)。相比于幾何光波導(dǎo)，浮雕光柵波導(dǎo)可以將AR眼鏡做得更輕薄，更適合消費(fèi)類電子領(lǐng)域的應(yīng)用。為了使往眼睛方向衍射的光耦合效率達(dá)到最高，AR鏡片的入射光柵最好使用斜齒 (slanted grating)或者三角形的閃耀光柵(blazed grating)，但這兩種光柵的設(shè)計(jì)和加工難度都很高。

基于VirtualLab Fusion內(nèi)置的傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method，F(xiàn)MM/RCWA）以及參數(shù)掃描（New Parameter Run）和參數(shù)優(yōu)化（New Parametric Optimization）功能，能夠針對(duì)不同的視場(chǎng)角，快速的完成傾斜光柵以及閃耀光柵等的設(shè)計(jì)并對(duì)所需的級(jí)次進(jìn)行優(yōu)化，以獲得最大的耦合效率，最后導(dǎo)出GDSII結(jié)構(gòu)以進(jìn)行微納加工。

目前，我們除了可以提供各種常用的衍射光柵標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品之外，還可以提供客戶化的定制加工服務(wù)。特別是可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的斜齒光柵和三角形的閃耀光柵的加工。

    

左圖：基于VirtualLab Fusion設(shè)計(jì)的傾斜光柵折射率分布；右圖：加工所得的傾斜光柵