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衍射光學(xué)器件（DOE）設(shè)計與加工

衍射光學(xué)器件（DOE），又稱二元光學(xué)元件，主要用于激光束的整形。通過DOE元件可以將一束激光整形成平頂光束，或者矩陣、柵格、線形、圓形、點陣等各種圖案。DOE廣泛用于激光加工、醫(yī)療、成像系統(tǒng)、傳感器等領(lǐng)域。 尤其是在結(jié)構(gòu)光3D攝像頭中，使用DOE將一束紅外激光大角度整形成光斑點陣，用于人臉識別、深度感測等功能，市場前景廣闊。

針對各類衍射和微納光學(xué)器件，通過應(yīng)用VirtualLab Fusion內(nèi)置的迭代傅里葉變換算法（Iteration Fourier Transform Algorithm，IFTA）能夠快速的實現(xiàn)各類衍射微納光學(xué)器件的設(shè)計和優(yōu)化，并進(jìn)行公差分析（如對齊、加工高度以及倒角等），最后導(dǎo)出GDSII文件以用于DOE的加工。

目前，我們主要采用納米壓印、光刻技術(shù)加工DOE，可以提供從定制化設(shè)計、模具制造、工藝開發(fā)、批量生產(chǎn)的全套服務(wù)。可以實現(xiàn)納米級、高深寬比、多階等高難度DOE結(jié)構(gòu)的定制加工。

 

基于VirtualLab Fusion所設(shè)計的DOE結(jié)構(gòu)

基于納米壓印加工技術(shù)所加工出來的DOE結(jié)構(gòu)